無(wú)塵車間RCA Method詳細(xì)說(shuō)明

（1）DIWater               需要 5分鐘

（2）H2SO4:H2O2=3:1        燒到10至20分鐘，達(dá)到75至85℃，就可以去金屬、有機(jī)、油

（3）DIWater               需要5分鐘

（4）HF:H2O                需要10至30秒，就可以去除自然氧化層，英文叫：Native Oxide

（5）DIWater               需要5分鐘

（6）NH4OH:H2O2;H2O=1:1:5  燒到10至20分鐘，達(dá)到75至85℃，去除金屬和有機(jī)

（7）DIWater               需要5分鐘

（8）HCl:H2O2:H2O=1:1:6    燒到10至20分鐘，達(dá)到75至85 ℃  去除離子

（9）DIWater               需要5分鐘

（10）Spin Dry             完成